转塔式处理器

高速精准的半导体测试和精加工

SPEA H5000 转塔式处理器专为执行高速度和高精度的半导体测试、检测和精加工而设计。其模块化设计带来了最大的配置灵活性,具有种类繁多的输入/输出媒介测试单元,可满足各种处理需求。

测试过程可配置性

 

H5000 可完全配置客户所需的所有输入、测试和精加工选项,实现灵活性和创新功能。您可以从广泛的输入、输出、测试和检测单元选项中创建自己的处理器:

输入

 

  • 薄膜框架上的晶圆
  • 碗式给料装置
  • 托盘

过程

 

  • 电气测试(最多10个站点,在转轮单元上)
  • 以器件为导向
  • 6S 光学检测(5S + 顶部检测)
  • 多器件故障分箱(最多4个)
  • 密封前后的口袋内检查(在卷轴输出单元上)

输出

  • 薄膜框架上的晶圆
  • 卷盘上的胶带
  • 托盘

同一配置上可以同时安装两种不同的输出选项(例如晶圆和卷带,或双卷带精加工),以进一步提高使用的灵活性。

热调节选项也可用于在高温下进行测试,而转换套件可用于在不同应用之间快速切换。

H5000 可以直接从薄膜框架晶圆上处理切割的裸片,在重建晶圆上输出或在磁带上完成精加工,这使得 H5000 成为 KGD 测试的理想选择

 

> 进一步了解 SPEA KGD 测试解决方案

转塔式处理器的完整测试能力

 

H5000 可以容纳多个可配置的电气测试站(最多 10 个),以验证半导体组件的完整性和功能。

为了进行电气测试,SPEA 测试仪可以直接置入到 H5000 底座单元中,也可以硬插接到处理器上。

 

> 进一步了解 SPEA 半导体测试仪 

> 进一步了解 SPEA 功率半导体测试仪

高性能光学检测

 

SPEA H5000 转塔式处理器可执行完整的光学检查,以检验器件位置并检测 6 个侧面的任何表面缺陷。此外,在卷带精加工站上进行密封前和密封后检测

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