SPEA 测试处理器专为在最终测试阶段中执行集成电路元件(已封装或位于条带/晶圆框架内)拾取和放置的高吞吐量处理而设计。
其模块式设计是开放的,可组合多种输入/输出媒介配置,以最佳状态适应您的处理过程,通过改造不同的输入/输出模块,也可以在您的现场更改配置:
- 从托盘,晶圆/条带框架,卷带,或碗式给料装置输入
- 在托盘,晶圆/条带框架,卷带或盒子上输出
其机械结构以全直线运动技术为基础,通过受控的轴加速度和速度,保证快速精准的处理。其运动轨迹和接触机制可将施加于器件的力降至最低:H3580 可处理微机电系统器件,无额外振动影响内部微机械结构。
极高的并行性
- 每个测头配有 1-50 个拾取器
- 快速重新配置拾取间距
- 独立的拾取驱动
- 最高可达 392x 并行接触和测试
高速温和的处理
- 2个机动测头,配备拾取和视觉装置
- 线性电机无摩擦运动
- 受控的轴运动轨迹曲线,温和拾取与释放器件
最低堵塞率: 1:10,000
- 自动弥补托盘缺陷(形状,平整度,不当尺寸)
- 器件自动对准,检查接触单元内是否到位
测试装置系列丰富,涵盖从 MEMS 到电源器件
H3580 配备丰富的专用集成电路(ASIC)、电源或微机电系统(MEMS)器件测试装置系列,在一个测试单元内结合了微机电系统或其他集成电路器件处理、接触、物理刺激和完整测试的所有元件。
多种刺激可被结合于一个测试装置内,以测试微机电系统组合,例如环境传感器(压力+湿度+气体+温度)或导航传感器(加速度计+陀螺仪+指南针)。
测试区域可在现场轻易重新配置各种测试装置,而多阶段的测试装置配置则可提高系统生产力:它最多可同时接触和测试 392 件器件,提供更高的吞吐量。
温度测试
可进行测试温度调节,选择室温、热、冷、预热选项,以保持最佳的吞吐量。
快速温度变化机制,单次插入即可测试不同温度:器件可留在同一插座上,依次进行要求的温度测试。这可降低整体成本,减少要求的处理操作数量,同时保证校准精度更高,器件追踪更容易。
- 温度范围:-65 至 +200°C
- 温度精确度 ± 1°C
- 温度稳定性 ± 0.5 °C
- 进行插座干预无需除霜
- 全天24小时工作不间断
- 整个温度范围的精准温度控制
- 受控的环境温度
- 精准追踪热性能参数
- 监控各站点温度
接触
SPEA 处理器配备了以被测试器件要求的所有对接和接触模块:
- 精准可靠的单框压片接触
- 标准和定制封装的转换套件,最小尺寸为 1x1x0.5mm
- 快速封装转换(小于 5 分钟)
插座和接触单元均由 SPEA 内部开发,既适用于最通用的集成电路封装(有引线或无引线),也适用于定制封装,在微机电系统测试中提供最佳性能:
- 低力度接触
- 与被测器件(DUT)高效热传递
- 死虫或活虫接触装置
- 可定制被测器件压片尖端形状
- 器件对准器
- 接触器上配有温度传感器
光学检测
处理器配备了若干视觉装置(顶部,底部,5S)以执行光学测试,保证器件的可追溯性,预防堵塞风险:
易于维护和校准
SPEA 处理器可精准处理最微小的器件,无需使用外部校准工具:
- 顶部和底部摄像头7 分钟内完成全系统自动校准
- 完整校准报告和数据记录,配备自动位置监控和警告
- 自动托盘位置识别和自动托盘补偿
- 错位/变形
- 快速更换拾取器
- 快速拆除接触器
- 访问系统轻而易举
符合工业 4.0 要求
数据收集、分析和报告,预防性维护,全自动化,让每台 SPEA 处理器都可成为您智能工厂车间的组成部分。
通过专用软件 Archimede 可持续监控和分析处理器性能,以提高性能、减少生产停机时间并优化维护操作。
Archimede 提供的功能包括:动态器件追踪和管理、故障检测和警报通知、趋势识别和故障预测。 可以设置KPI分析、显示、导出和打印处理器生产和过程表现指标。
所有与及其相关的原始数据——例如硬件组成、操作日志和寿命参数——均储存于本地并可自动发送至中央数据中心,与MES 和 SECS/GEM畅顺对接。